[发明专利]智能氮氧传感器感应芯片在审
| 申请号： | 201810270584.2 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108333243A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 冯江涛 | 申请（专利权）人： | 常州联德电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41;G01N27/407;G01N27/409 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 沈毅 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器感应芯片领域，尤其是智能氮氧传感器感应芯片。该感应芯片包括外电极、电极触点一、上层氧化锆基板、副泵内电极、主泵内电极、中层氧化锆基板、参比空气电极、测量泵内电极、电极触点二、底层氧化锆基板、绝缘包裹层、电极触点三、参比空气通道、第一测量腔、第二测量腔和加热线路，所述外电极、引线、电极触点一印刷在上层氧化锆基板的上端面；所述副泵内电极、主泵内电极、引线印刷在上层氧化锆基板的下端面；所述测量泵内电极和参比空气电极印刷在底层氧化锆基板的上端面；所述底层氧化锆基板上印刷有加热线路、电极触点三、两层绝缘包裹层。该发明使用三层氧化锆基板，其制备工序简单、生产效率高、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锆基板 内电极 电极触点 传感器感应 参比 印刷 加热线路 空气电极 上端面 外电极 上层 氮氧 副泵 主泵 测量 芯片 绝缘包裹层 第二测量 第一测量 感应芯片 空气通道 两层绝缘 生产效率 芯片领域 智能 包裹层 下端面 三层 制备 中层 | ||
【主权项】：
1.一种智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，包括外电极（1）、电极触点一（2）、上层氧化锆基板（3）、副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、中层氧化锆基板（6）、参比空气电极（7）、测量泵内电极（8）、电极触点二（9）、底层氧化锆基板（10）、绝缘包裹层（11）、电极触点三（12）、参比空气通道（13）、第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和加热线路（18），所述外电极（1）、引线、电极触点一（2）印刷在上层氧化锆基板（3）的上端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线印刷在上层氧化锆基板（3）的下端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线通过过孔与电极触点一（2）连接；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）印刷在底层氧化锆基板（10）的上端面；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）通过引线延伸至端头与两侧的电极触点二（9）连接；所述底层氧化锆基板（10）上印刷有加热线路（18）、电极触点三（12）、两层绝缘包裹层（11）；所述加热线路（18）包裹在两层绝缘包裹层（11）之间；所述电极触点三（12）裸露在外；所述中层氧化锆基板（6）通过冲切加工成第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和参比空气通道（13）。
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