[发明专利]热耦合的石英圆顶热沉

摘要

热耦合的石英圆顶热沉。本文描述的实施方式大体关于用于处理基板的设备。该设备大体包括处理腔室，该处理腔室具有在该处理腔室中的基板支撑件。多盏灯经定位以提供穿过光学透明窗而至基板的辐射能，基板定位于基板支撑件上。所述多盏灯定位于灯箱中。冷却通道形成于灯箱中。灯箱的表面与光学透明窗间隔一段距离，以在该表面与该窗之间形成间隙。该间隙起到流体通道的作用，并且适于在所述间隙中容纳流体，以助于冷却光学透明窗。形成于灯箱的表面中的诸如开口之类的多个紊流诱发特征诱发冷却流体的紊流，因而改善光学透明窗与灯箱之间的热传递。

主权项

1.一种处理腔室，所述处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体具有下圆顶；箱体，所述箱体设置成与所述下圆顶邻近，所述箱体包括一个或多个辐射能量源，所述一个或多个辐射能量源设置于所述箱体中的开口中，其中所述开口具有紊流诱发特征；和温度控制单元，所述温度控制单元适于提供冷却流体至于所述下圆顶与所述箱体之间形成的间隙，其中所述开口引起所述冷却流体中的紊流以增强所述下圆顶的冷却。