[发明专利]一种应用于原子力显微镜的传感器在审
| 申请号： | 201810279030.9 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108535515A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 彭平;兰永强 | 申请（专利权）人： | 三明学院 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利;魏思凡 |
| 地址： | 365000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用于原子力显微镜的传感器，包含底座、可拆卸地配置于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的石英晶振以及探针；石英晶振的第一叉脚和石英晶振的第二叉脚上下相对配置，且石英晶振通过第二叉脚配置于绝缘承载层上；探针配置于石英晶振的第一叉脚上。本发明的传感器具有结构简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石英晶振 叉脚 承载层 传感器 绝缘 原子力显微镜 底座 配置 上下相对 探针配置 可拆卸 探针 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于原子力显微镜的传感器，其特征在于，包含：底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的石英晶振(3)、以及探针(6)；石英晶振(3)的第一叉脚(4)和石英晶振(3)的第二叉脚(5)上下相对配置，且石英晶振(3)通过第二叉脚(5)配置于绝缘承载层(2)上；探针(6)配置于石英晶振(3)的第一叉脚(4)上。
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