[发明专利]用于MEMS裸芯的多层应力隔离平台在审
| 申请号： | 201810281560.7 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108801543A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | W.C.朗;J.L.阮 | 申请（专利权）人： | 盾安美斯泰克股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种多层应力隔离平台，其配置为将MEMS裸芯附接至基部，其包括第一平台；第一层附接材料，其在所述基部与所述第一平台之间，并且将所述第一平台附接至所述基部；MEMS裸芯；以及第二层附接材料，其在所述第一平台与所述MEMS裸芯之间，并且将所述MEMS裸芯附接至所述第一平台。 | ||
| 搜索关键词： | 附接 裸芯 基部 应力隔离 多层 第一层 配置 | ||
【主权项】：
1.一种多层应力隔离平台，其配置为将MEMS裸芯附接至基部，所述多层应力隔离平台包括：第一平台；第一层附接材料，其在所述基部与所述第一平台之间，并且将所述第一平台附接至所述基部；MEMS裸芯；以及第二层附接材料，其在所述第一平台与所述MEMS裸芯之间，并且将所述MEMS裸芯附接至所述第一平台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盾安美斯泰克股份有限公司，未经盾安美斯泰克股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810281560.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气压测量装置及系统
- 下一篇：一种船舶汽轮机蒸汽压力变送器
