[发明专利]基板清洗系统及清洗方法有效
| 申请号： | 201810290357.6 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108568419B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 宋烨 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 刘萍萍 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示面板领域，尤其涉及一种基板清洗系统及基板清洗方法。其中，基板清洗系统包括：至少两个侧边喷洒单元，设置于所述基板的周边位置，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的周边；中间喷洒单元，设置于所述基板的中部位置，并位于所述至少两个侧边喷洒单元之间，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的中部；控制单元，分别与所述至少两个侧边喷洒单元和所述中间喷洒单元连接，用于根据滞留在所述基板不同部位的清洗剂量，调整所述至少两个侧边喷洒单元和/或所述中间喷洒单元的清洗剂的喷洒量，以使所述基板不同部位不存在清洗剂量的偏差。在清洗基板时，使得滞留在基板上各个部位的清洗剂量能够均匀，从而提高基板的品质，有效改善白斑现象。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗系统，用于清洗基板，其特征在于，包括：至少两个侧边喷洒单元，设置于所述基板的周边位置，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的周边；中间喷洒单元，设置于所述基板的中部位置，并位于所述至少两个侧边喷洒单元之间，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的中部；控制单元，分别与所述至少两个侧边喷洒单元和所述中间喷洒单元连接，用于根据滞留在所述基板不同部位的清洗剂量，调整所述至少两个侧边喷洒单元和/或所述中间喷洒单元的清洗剂的喷洒量，以使所述基板不同部位不存在清洗剂量的偏差。
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