[发明专利]一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法有效
| 申请号： | 201810291497.5 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108645397B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 李新坤;庄海涵;梁德春;王风娇;吴浩越;刘福民;徐宇新;王学锋 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5769 | 分类号： | G01C19/5769 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 马全亮 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，包括如下步骤：刻蚀碳化硅晶圆，制作与盘式谐振子微结构相对应的刻蚀槽；对刻蚀完成的碳化硅晶圆和石英玻璃进行键合；以高于石英玻璃软化点的温度对晶圆键合结构进行加热，直至石英玻璃均匀灌入碳化硅晶圆的刻蚀槽内，停止加热；对灌入石英玻璃的碳化硅晶圆进行减薄抛光，去除刻蚀槽以外石英玻璃；采用干法刻蚀工艺去除碳化硅，完成石英盘式谐振子结构释放。本发明解决了石英盘式微结构制造工艺难度大的问题，实现了石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的高精度批量制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 谐振 微机 陀螺 谐振子 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)刻蚀碳化硅晶圆，制作与盘式谐振子微结构相对应的刻蚀槽；(2)将石英玻璃与刻蚀完成的碳化硅晶圆进行键合，形成晶圆键合结构；(3)对晶圆键合结构进行加热，直至石英玻璃均匀灌入碳化硅晶圆的刻蚀槽内，停止加热；(4)对灌入石英玻璃的碳化硅晶圆进行减薄抛光，去除刻蚀槽以外石英玻璃；(5)去除碳化硅，完成石英盘式谐振子结构释放。
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