[发明专利]一种应用于扫描探针显微镜的传感器有效
| 申请号： | 201810293827.4 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108761138B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 彭平;兰永强 | 申请（专利权）人： | 三明学院 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利;魏思凡 |
| 地址： | 365000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器，包含：底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针；第一石英晶振的第一叉脚和第一石英晶振的第二叉脚上下相对配置，第二石英晶振的第一叉脚和第二石英晶振的第二叉脚左右相对配置；第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上，探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上；第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同，且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点，且本发明的传感器具有两个维度原位激发/检测功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 扫描 探针 显微镜 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种应用于扫描探针显微镜的传感器，其特征在于，包含：底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)、以及探针(5)；第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)和第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)上下相对配置，第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)和第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)左右相对配置；第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)配置于绝缘承载层(2)上，第二石英晶振(4)的基座部配置于第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)上，探针(5)配置于第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)上；第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者的谐振频率不同，且第一石英晶振(3)的两接线端分别对应电连接于第二石英晶振(4)的两接线端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三明学院，未经三明学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810293827.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：AFM针尖磨损测量方法
- 下一篇：一种可连续起爆和阻值可调的火工品等效器
