[发明专利]一种用于光学检测的气浮支撑工装在审

专利信息
申请号: 201810295949.7 申请日: 2018-03-30
公开(公告)号: CN108981521A 公开(公告)日: 2018-12-11
发明(设计)人: 黄斌;倪明阳;隋永新;杨怀江 申请(专利权)人: 长春国科精密光学技术有限公司
主分类号: G01B5/00 分类号: G01B5/00;G01B11/24;G01B11/255
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 130000 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种用于光学检测的气浮支撑工装,包括底座和安装于底座的定心机构,定心机构包括设置于底座上方的定心座、固定连接定心座的定心平台和安装于定心座及定心平台之间的定心平面螺纹滚轮,定心平面螺纹滚轮连接有多个用于径向定位光学元件的软爪,旋转定心平面螺纹滚轮能够带动多个软爪同步径向移动,多个软爪中心设置有用于支撑光学元件的气浮支撑组件。通过定心机构进行径向定位,提高测量准确度。提高了检测效率,保证检测结果更加准确,光学元件的面型变化更加微小,提升了检测结果的可信度。
搜索关键词: 定心 定心机构 光学元件 平面螺纹 定心座 气浮 软爪 底座 光学检测 检测结果 径向定位 支撑工装 滚轮 同步径向移动 准确度 滚轮连接 支撑组件 中心设置 可信度 面型 测量 检测 支撑 保证
【主权项】:
1.一种用于光学检测的气浮支撑工装,其特征在于,包括底座(2)和安装于所述底座(2)的定心机构,所述定心机构包括设置于所述底座(2)上方的定心座(4)、固定连接所述定心座(4)的定心平台(11)和安装于所述定心座(4)及所述定心平台(11)之间的定心平面螺纹滚轮(10),所述定心平面螺纹滚轮(10)连接有多个用于径向定位光学元件的软爪,旋转所述定心平面螺纹滚轮(10)能够带动多个所述软爪同步径向移动,多个所述软爪中心设置有用于支撑光学元件的气浮支撑组件。
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