[发明专利]具有磁化冷却水装置的磁控溅射系统及磁控溅射设备在审
| 申请号： | 201810297130.4 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110344009A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射系统及磁控溅射设备。磁控溅射系统包括磁控溅射装置、冷却水装置及磁化装置；其中，冷却水装置包括冷却水源及冷却水管路，冷却水管路一端与冷却水源相连接，另一端与磁控溅射装置相连接，用于向磁控溅射装置提供冷却水以对磁控溅射装置进行冷却；磁化装置位于冷却水管路上，用于对流经冷却水管路的冷却水进行磁化处理，以使冷却水的酸碱度呈中性，并降低冷却水的结合能力及表面张力。本发明的具有磁化冷却水装置的磁控溅射系统及磁控溅射设备结构简单，不额外占用生产空间，不额外使用电量，能保证设备的稳定性，有效延长设备的使用寿命，极大降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却水装置 磁控溅射系统 磁控溅射装置 冷却水 磁化 磁控溅射设备 冷却水管路 磁化装置 冷却水源 酸碱度 磁化处理 结合能力 冷却水管 生产空间 使用寿命 用电量 冷却 占用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射系统，其特征在于，包括：磁控溅射装置，用于安装在镀膜腔室的内部；冷却水装置，包括冷却水源及冷却水管路，所述冷却水管路的一端与所述冷却水源相连接，所述冷却水管路的另一端与所述磁控溅射装置相连接，用于向所述磁控溅射装置提供冷却水以对所述磁控溅射装置进行冷却；及，磁化装置，位于所述冷却水管路上，用于对流经所述冷却水管路的冷却水进行磁化处理，以使所述冷却水的酸碱度呈中性，并降低所述冷却水的结合能力及表面张力。
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