[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201810298347.7 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108692745A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 木原竜儿 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请公开了一种物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具备：基体(基板)；悬架部(第一延出部)，沿所述基体的主面而在第一方向(Y轴方向)上延伸；固定部，将所述悬架部固定于所述基体上；固定电极部(第一固定电极指)，从所述悬架部沿着所述主面而在与所述第一方向交叉的第二方向(X轴方向)上延伸；以及可动电极部(第一可动电极指)，被设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，所述悬架部在所述第一方向上与所述固定部分离的部分的所述宽度比与所述固定部连接的部分的所述第二方向的宽度窄。 | ||
| 搜索关键词： | 悬架部 物理量传感器 固定电极部 电子设备 固定部 移动体 主面 可动电极部 方向交叉 固定电极 可动电极 宽度比 延出部 延伸 基板 申请 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基体；悬架部，与所述基体相对而设置；固定部，将所述悬架部固定于所述基体；固定电极部，在俯视观察中所述固定电极部以长边方向沿与所述悬架部和所述固定部排列的第一方向正交的第二方向的方式设于所述悬架部；以及可动电极部，设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，在俯视观察中，所述悬架部的沿所述第二方向的宽度在沿所述第一方向而与所述固定部一侧相反一侧比所述固定部一侧窄。
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