[发明专利]半导体8寸晶元制造Endura IMP工艺的不锈钢零部件再生方法

摘要

本发明公开了半导体8寸晶元制造Endura IMP工艺的不锈钢零部件再生方法，包括以下步骤：（1）、常压下，纯水或超纯水通入高压水泵，高压水泵连接喷嘴，水通过喷嘴往不锈钢零部件表面各处喷射；（2）、不锈钢零部件在常压下自然干燥后，放置并固定于于转盘上，旋转转盘带动不锈钢零部件旋转；（3）、使用液氮喷射装置，其具有喷射口、阀门，喷射口对准不锈钢零部件一侧，待转动稳定后，开始喷射液氮，调节阀门，使喷射液氮的流量在0.08‑0.3m³/s；（4）、喷射后随转盘停止并自然回温至室温。本发明的步骤简单，结合不锈钢材料特点量身定制，并且水冲压力和液氮骤冷在不锈钢承受范围内，不锈钢零部件再生效果优异、高效。

主权项

1. 半导体8寸晶元制造Endura IMP工艺的不锈钢零部件再生方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）、常压下，纯水或超纯水通入高压水泵，高压水泵连接喷嘴，水通过喷嘴往不锈钢零部件表面各处喷射，形成的喷射水流与不锈钢零部件表面形成斜角，水压范围185~215bar；（2）、不锈钢零部件在常压下自然干燥后，放置并固定于于转盘上，旋转转盘带动不锈钢零部件旋转；（3）、使用液氮喷射装置，其具有喷射口、阀门，喷射口对准不锈钢零部件一侧，待转动稳定后，开始喷射液氮，调节阀门，使喷射液氮的流量在0.08‑0.3m3/s；（4）、喷射后维持转盘旋转5‑10min停止，再自然回温至室温，待用。