[发明专利]TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法有效
| 申请号： | 201810307635.4 | 申请日： | 2018-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN108417681B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡齐航;庄翌圣;巫永仁 | 申请（专利权）人： | 宜特（上海）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/16 | 分类号： | H01L33/16;H01L33/00;H01L21/86 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法，其特征在于，包括步骤：将LED试样放置于DB‑FIB机台上，获取所述LED试样中蓝宝石衬底的俯视图，所述俯视图中密布有图形化蓝宝石结构；以相邻三个图形化蓝宝石结构的连线作为六边形的一条边，于所述俯视图上连线形成一六边形；将所述六边形中相间位的两个角进行连线，令得到的连线方向作为所述LED试样的待切片的晶格方向。本发明仅在DB‑FIB下就可以直接于影像拍摄模式下，观察LED基板的俯视图就可以直接判断晶格方向，不需透过后续TEM反复切片确认，在整个制样的过程中大幅提升其效率也减低切错晶格方向的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 晶格方向 俯视图 连线 六边形 蓝宝石 衬底 图形化蓝宝石 切片 影像拍摄 基板 条边 制样 密布 观察 | ||
【主权项】：
1.一种TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法，其特征在于，包括步骤：将LED试样放置于DB‑FIB机台上，获取所述LED试样中蓝宝石衬底的俯视图，所述俯视图中密布有图形化蓝宝石结构；以相邻三个图形化蓝宝石结构的连线作为六边形的一条边，于所述俯视图上连线形成一六边形；以及将所述六边形中相间位的两个角进行连线，令得到的连线方向作为所述LED试样的待切片的晶格方向；其中，所述六边形的每条边经过三个图形化蓝宝石结构，该三个图形化蓝宝石结构分别为该条边的起点、中点、终点，六边形的每条边长度相等，六边形的每个内角为120°，所述晶格方向为![]()
晶格方向。
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