[发明专利]一种光学陀螺与加速度计高度融合的惯性传感单元有效
| 申请号： | 201810309202.2 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN108645405B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 佘玄;杨哲;王晨歌;陈侃;刘承;舒晓武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01C21/18 | 分类号： | G01C21/18;G01C19/5663;G01C19/5656;G01C19/66 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学陀螺与加速度计高度融合的惯性传感单元，包括硅基底及位于其上的光源、第一信号探测器、第二信号探测器、功率探测器、以及混合波导芯片；光信号由光源发出，Y分支波导实现分光，一半的光进入马赫曾德干涉结构，另一半的光进入定向耦合结构，实现光源的复用。由光源、Y分支波导、第二信号探测器、马赫曾德干涉结构和微悬梁结构组成加速度测量光路。由光源、Y分支波导、第一信号探测器、定向耦合结构、Y波导调制器及连接的光纤环组成角速度测量光路。本发明的惯性传感单元集成度高、体积小，实现光学陀螺仪和加速度计的高度融合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 陀螺 加速度计 高度 融合 惯性 传感 单元 | ||
【主权项】：
1.一种光学陀螺与加速度计高度融合的惯性传感单元，其特征在于，加速度计光路系统与光学陀螺光路系统实现融合，复用光源且集成在同一衬底上；加速度计光路系统包括所述的光源（5）、Y分支波导（14）、第二信号探测器（17）、马赫曾德干涉结构（28）和微悬梁结构（29）；光学陀螺光路系统包括所述的光源（5）、所述的Y分支波导（14）、第一信号探测器（16）、定向耦合结构（30）、Y波导调制器（15）及连接的光纤环。
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