[发明专利]一种聚合物/氧化物复合有机纳晶场效应晶体管气体传感器制备方法在审
| 申请号： | 201810310976.7 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN108802152A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王丽娟;朱阳阳;李凯歌;刘思航;孙洋;王璐;孙丽晶;孙强;佟万璐 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;H01L51/05;H01L51/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明是一种聚合物/氧化物复合有机纳晶场效应晶体管气体传感器制备方法，在衬底（1）上覆盖二氧化硅的氧化物层（2）和聚合物层（3）构成复合绝缘层，聚合物层对氧化物层起保护作用，使NO2分子不会深陷于二氧化硅中，有利于NO2分子的解吸附。采用旋涂法将二氧化钛溶液制成薄膜作为氧化物缓冲层（4），在氧化物缓冲层（4）上先后以快速、慢速、再快速的蒸镀速率真空沉积生长六噻吩柱状纳米晶体构成有机纳晶层（5），然后继续旋涂氧化物缓冲层（6），最后蒸镀金电极（8）。氧化物缓冲层使电子传输速率大大增加，提高对NO2分子的敏感性和响应度。六噻吩柱状纳米晶体构成的有机纳晶层具有三维吸附和解吸附特点，提高传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物缓冲层 纳晶 场效应晶体管 气体传感器 氧化物复合 二氧化硅 聚合物层 纳米晶体 氧化物层 聚合物 吸附 柱状 制备 二氧化钛溶液 复合绝缘层 电子传输 镀金电极 真空沉积 解吸附 灵敏度 响应度 旋涂法 传感器 衬底 慢速 旋涂 蒸镀 薄膜 三维 生长 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物/氧化物复合有机纳晶场效应晶体管气体传感器制备方法包括：衬底（1），复合绝缘层包括氧化物层（2）、聚合物层（3），氧化物缓冲层（4），有机纳晶层（5），氧化物缓冲层（6），电极（8）。
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