[发明专利]快速冷却系统在审
| 申请号： | 201810312632.X | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110355438A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 雷雄;邵彪;唐寅 | 申请（专利权）人： | 中芯长电半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/08 | 分类号： | B23K3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 214437 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种快速冷却系统，包括：处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置。通过本发明的快速冷却系统，在处理设备发生故障停机时，使用非活性的冷却气体直接对高温区内的制品进行快速冷却，从而避免了制品在高温区停留过长时间导致的制品报废，提高了制品良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 快速冷却系统 处理设备 发生故障 控制装置 快速冷却 冷却气体 冷却装置 侦测装置 非活性 高温区 良品率 停机 报废 停留 | ||
【主权项】：
1.一种快速冷却系统，其特征在于，包括处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置；所述处理设备包括处理腔室、用于承载制品的制品承载台和加热板；其中，所述制品承载台和所述加热板均位于所述处理腔室内；所述冷却装置包括气体源、气体管路和阀门，所述气体管路一端与所述气体源相连接，另一端延伸至所述处理腔室内；所述阀门设置于所述气体管路上；所述侦测装置侦测所述处理设备的工作状态；所述控制装置，与所述侦测装置及所述阀门相连接，用于根据所述侦测装置反馈的信号控制所述阀门开启或关闭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯长电半导体（江阴）有限公司，未经中芯长电半导体（江阴）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810312632.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
