[发明专利]制备用于PERC叠瓦组件的太阳能电池片的方法和系统

摘要

本发明涉及一种制备用于PERC叠瓦组件的太阳能电池片的方法，包括以下步骤：提供硅片步骤，提供硅片作为制备太阳能电池片的原料；扩散制结步骤，在硅片上形成N型半导体和P型半导体的交界面，即PN结；背钝化步骤，在硅片的背面施加一层背钝化膜；镀背面保护膜步骤，通过PECVD方法在背钝化膜上沉积一层保护膜；激光刻槽步骤，通过激光烧蚀在背钝化膜和背面保护膜中开槽，露出硅片；丝网印刷步骤，其中，使用贵金属浆料对硅片的正面进行丝网印刷，得到主栅线和副栅线；仅使用铝浆对硅片的背面进行丝网印刷，实现太阳能电池片的铝背场覆盖；以及快速烧结步骤，形成欧姆接触，能够收集和对外传导光生载流子。本发明还涉及用于PERC叠瓦组件的太阳能电池片。

主权项

1.一种制备用于PERC叠瓦组件的太阳能电池片的方法，包括以下步骤：提供硅片步骤，提供硅片作为制备所述太阳能电池片的原料；扩散制结步骤，在所述硅片中形成N型半导体和P型半导体的交界面，即PN结；背钝化步骤，通过PECVD或者ALD工艺在所述硅片的背面施加一层背钝化膜；镀背面保护膜步骤，通过PECVD方法在所述背钝化膜上沉积一层保护膜；激光刻槽步骤，通过激光烧蚀在所述背钝化膜和所述背面保护膜中开槽，露出硅片；丝网印刷步骤，其中，使用贵金属浆料对所述硅片的正面进行丝网印刷，得到主栅线和副栅线；仅使用铝浆对所述硅片的背面进行丝网印刷，实现所述太阳能电池片的铝背场覆盖；以及快速烧结步骤，形成欧姆接触，能够收集和对外传导光生载流子。