[发明专利]一种差压压力传感器的制备方法有效
| 申请号： | 201810314543.9 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN108760100B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李刚;胡维;吕萍 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差压压力传感器的制备方法，解决了感压薄膜较薄时线性度和可靠性较差的问题。该制备方法包括：制备带有腔体的绝缘体晶圆，该带有腔体的绝缘体晶圆包括依次叠置的器件层、氧化层和衬底层，衬底层和氧化层之间包括位于衬底层内的环形腔体；在器件层的表面制备压敏电阻；刻蚀掉环形腔体的正投影范围内的部分衬底层至露出环形腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 压压 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种差压压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：制备带有腔体的绝缘体晶圆，所述带有腔体的绝缘体晶圆包括依次叠置的器件层、氧化层和衬底层，所述衬底层和所述氧化层之间包括位于所述衬底层内的环形腔体；在所述器件层的表面制备压敏电阻；刻蚀掉所述环形腔体的正投影范围内的部分所述衬底层至露出所述环形腔体。
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