[发明专利]一种氧化物薄膜晶体管式的柔性触觉传感器在审
| 申请号： | 201810315288.X | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN108955960A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 郭立强;温娟;胡永斌;丁建宁;程广贵 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及柔性人工电子皮肤，特指一种氧化物薄膜晶体管式的柔性触觉传感器。其包括由上至下的作为上基体的ITO‑PET导电薄膜、PDMS微结构栅介质，源、漏电极和位于两电极之间的沟道，KH550‑GO栅介质、作为下基体的ITO‑PET导电薄膜。KH550‑GO作为第一栅介质；具有微结构的PDMS薄膜作为传感器的第二栅介质层。KH550‑GO固态电解质结构疏松,且具有微介孔通道.此微介孔通道为吸收、储存空气中的水分子以及H质子迁移提供了场所和途径.具有微结构的PDMS第二栅介质可以提高传感器的灵敏度；施加的压力诱导PDMS的微结构发生变化，从而改变了介质层电容，最终沟道电流也会随之变化。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 栅介质 氧化物薄膜晶体管 柔性触觉传感器 传感器 介孔 固态电解质 沟道电流 结构疏松 压力诱导 栅介质层 质子迁移 介质层 灵敏度 漏电极 上基体 水分子 下基体 电极 电容 沟道 储存 皮肤 施加 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种氧化物薄膜晶体管式的柔性触觉传感器，其特征在于：所述柔性触觉传感器的结构为由上至下的作为上基体的ITO‑PET导电薄膜、PDMS微结构栅介质，源、漏电极和位于两电极之间的沟道，KH550‑GO栅介质、作为下基体的ITO‑PET导电薄膜；KH550‑GO作为第一栅介质；具有微结构的PDMS薄膜作为传感器的第二栅介质层；KH550‑GO固态电解质的结构呈现出不规则的微介孔状,KH550‑GO固态电解质结构疏松,且具有微介孔通道.此微介孔通道为吸收、储存空气中的水分子以及H质子迁移提供了场所和途径；具有微结构的PDMS第二栅介质可以提高传感器的灵敏度；施加的压力诱导PDMS的微结构发生变化，从而改变了介质层电容，最终沟道电流也会随之变化。
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