[发明专利]一种表面荧光增强微型探针二维传感装置、传感方法及探针制备方法

摘要

一种表面荧光增强微型探针二维传感装置、传感方法及探针制备方法，属于微尺寸测量技术领域；本发明是为了解决现有光纤探针所面临的光耦合效率低，结构复杂的问题。在光纤端面沉积荧光物质，使光纤端面具备自发光出射能力，宽场照明系统激发荧光物质发出荧光，荧光通过透镜聚焦，由CCD探测聚焦光斑的位置，当所述探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致荧光在CCD上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感；所述装置由光纤端面荧光探针、宽场照明装置、夹持器、滤波片、透镜、CCD装配构成；本发明的特点：探针制作方便且满足微型化需求、探测光的强度高且易于探测、分辨力高、整体装置简单且尺寸较小。

主权项

1.一种表面荧光增强微型探针二维传感装置，其特征在于，包括弹性膜片(1)、固定装置(2)、宽场照明系统(3)、光纤端面荧光激发探针(4)、准直透镜(5)、滤波片(6)、管镜(7)和CCD探测器(8)；所述光纤端面荧光激发探针(4)通过弹性膜片(1)悬挂在固定装置(2)上，宽场照明系统置于光纤端面荧光激发探针(4)的斜上方，提供光源发出的光束照射在光纤端面荧光激发探针(4)端面的被荧光物质包裹区域，在光纤端面荧光激发探针(4)的出射光路上依次配置准直透镜(5)、滤波片(6)、管镜(7)和CCD探测器(8)。