[发明专利]一种铁电存储器的抗单粒子扰动的加固方法有效
| 申请号： | 201810317160.7 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN108470735B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 郭红霞;琚安安;张凤祁;欧阳晓平;魏佳男;潘霄宇;郭维新;钟向丽;罗尹虹;丁李利;王坦;张阳;秦丽;李波 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | H01L27/115 | 分类号： | H01L27/115;H01L27/11502;H01L21/263 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 411100 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种铁电存储器的抗单粒子扰动的加固方法，包括将铁电存储器的管脚短接；选择等效能量为10 |
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| 搜索关键词： | 一种 存储器 粒子 扰动 加固 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铁电存储器的抗单粒子扰动的加固方法，其特征在于，利用中子对铁电存储器进行预辐照的具体步骤为：S1：将铁电存储器的管脚短接；S2：选择等效能量为106eV的中子束，且注量为1013/cm2～1014/cm2；S3：将步骤S2中的所述中子束对步骤S1中的所述铁电存储器进行辐照，当达到步骤S2的所述注量时停止辐照。
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