[发明专利]一种选择性接触晶体硅异质结太阳能电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810319531.5 申请日: 2018-04-11
公开(公告)号: CN108389929A 公开(公告)日: 2018-08-10
发明(设计)人: 黄仕华;王佳;黄玉清;芮哲 申请(专利权)人: 浙江师范大学
主分类号: H01L31/074 分类号: H01L31/074;H01L31/18
代理公司: 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 代理人: 朱枫
地址: 321004 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种选择性接触晶体硅异质结太阳能电池及其制备方法,电池结构分为若干层,自上而下为:Ag/ITO/MoOx/SiOy/n‑c‑Si/SiOy/LiFz/Al;制备时:利用硝酸氧化法在硅片前后表面生长一层超薄SiOy层(1.0~1.3nm),然后在硅片正面依次生长MoOx、ITO、Ag,硅片背面依次生长LiFx和Al。本发明分别利用MoOx的高功函数、LiFz的低功函数特性弯曲MoOx/c‑Si和LiFz/c‑Si异质结能带,实现对光生载流子进行选择性分离。
搜索关键词: 制备 异质结太阳能电池 选择性接触 晶体硅 光生载流子 硝酸氧化法 选择性分离 表面生长 低功函数 电池结构 高功函数 硅片背面 硅片正面 异质结 生长 硅片
【主权项】:
1.一种选择性接触晶体硅异质结太阳能电池,其特征在于:电池结构分为若干层,自上而下为:Ag/ITO/MoOx/SiOy/n‑c‑Si/SiOy/LiFz/Al,其中Ag为金属银,ITO为掺锡氧化铟透明导电薄膜,MoOx为氧化钼,x=2.3~3.0,SiOy为氧化硅,y=1.5~2.0,n‑c‑Si为n型单晶硅,LiFz为氟化锂,z=0.8~1.0,Al为金属铝。
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