[发明专利]一种摇摆振动装置有效
| 申请号： | 201810320734.6 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108535969B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 王明贤;乔志霞;李牧;李连进;包立群 | 申请（专利权）人： | 天津商业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/32;G06F30/17;H02K33/18 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 徐金生 |
| 地址： | 300134*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种摇摆振动装置，包括水平放置的第一摇摆振动体和第二摇摆振动体；第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧与基座固定连接；第二摇摆振动体位于第一摇摆振动体的右侧面位置，第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧相连接；第一摇摆振动体上设置有第一反光镜片和第一转动惯量调节配重块；第二摇摆振动体上设置第二反光镜片和第二转动惯量调节配重块。本发明可有效调整摇摆振动体具有的固有频率，使得能与符合曝光设备要求的预设目标振动频率相一致或在预设差值范围内，提高曝光设备的光照效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摇摆 振动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种新型摇摆振动装置，其特征在于，包括平行放置的第一摇摆振动体(2)和第二摇摆振动体(5)；所述第一摇摆振动体(2)的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧(1)与基座(20)固定连接；所述第二摇摆振动体(5)位于所述第一摇摆振动体(2)的右侧面，所述第一摇摆振动体(2)的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体(5)的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧(4)相连接；所述第一摇摆振动体(2)上设置有第一反光镜片(6)和第一转动惯量调节配重块(9)；所述第二摇摆振动体(5)上设置有第二反光镜片(13)和第二转动惯量调节配重块(10)。
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