[发明专利]叔胺光敏剂、其制备方法、包含其的感光性树脂组合物及感光性树脂组合物的应用有效

专利信息
申请号: 201810322343.8 申请日: 2018-04-11
公开(公告)号: CN110357989B 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 钱晓春;胡春青;金晓蓓 申请(专利权)人: 常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司
主分类号: C08F2/50 分类号: C08F2/50;G03F7/032;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 韩建伟;金田蕴
地址: 213011 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种叔胺光敏剂、其制备方法、包含其的感光性树脂组合物及感光性树脂组合物的应用。该叔胺光敏剂至少含有一种通式(I)所示的叔胺衍生物;本发明的叔胺光敏剂对波长350~410nm的光源灵敏性高,采用其制备的感光性树脂组合物对使用任意一种单一波长光源进行描绘时都可以得到充分的分辨率、稳定的生产量,且这种叔胺光敏剂树脂相容性好,添加该叔胺光敏剂的感光性树脂组合物干燥后不会产生析出物,可采用直接描绘曝光法来制备光致抗蚀膜、抗蚀图案及印刷电路板。
搜索关键词: 光敏剂 制备 方法 包含 感光性 树脂 组合 应用
【主权项】:
1.一种叔胺光敏剂,其特征在于,所述叔胺光敏剂至少含有一种通式(I)所示的叔胺衍生物;其中,A选自下列任一种基团:其中*表示链接位;R1选自C1‑C10的直链或支链烷基,任选地,其中的‑CH2‑被氧、硫或亚苯基所取代;R2和R3各自独立地表示氢、C1‑C10的直链或支链烷基,任选地,其中的‑CH2‑被氧、硫或亚苯基所取代;R4选自‑H、C1‑C10的直链或支链烷基、或C3‑C10的环烷基;R5选自C1‑C10的直链或支链烷基、C3‑C10的环烷基、C4‑C10的环烷基烷基或C4‑C10的烷基环烷基、或R6选自‑H、C1‑C10的直链或支链的烷基、C3‑C10的环烷基、C4‑C10的烷基环烷基或环烷基烷基、或C2‑C10的链烯基,任选地,这些基团中的‑CH2‑可被‑O‑取代。
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