[发明专利]一种碱性蚀刻液及其循环使用方法在审
| 申请号： | 201810324639.3 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108359990A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 聂国勇;李德良;陈仁华 | 申请（专利权）人： | 长沙利洁环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/34 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 刘佳芳 |
| 地址： | 410001 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碱性蚀刻液及其循环使用方法，所述碱性蚀刻液包括氯化铜、有机胺、氧化剂、添加剂以及去离子水；每升碱性蚀刻液中氯化铜占10‑150g，有机胺占10‑200g，氧化剂1‑100g，添加剂占1‑100g，其余为去离子水。本发明的碱性蚀刻液，在使用过程中溶液是碱性，对设备要求不高；使用成本低，操作安全环保，检测控制系统简单；低侧蚀，蚀刻速度快；稳定性高。该方法采用膜分离技术和沉淀还原的技术相结合，可以很好的实现蚀刻液的循环再生利用，反应后的产物是氮气和水，不带入其它杂质，过滤沉淀铜后的滤液可以回用于配制新蚀刻液。 | ||
| 搜索关键词： | 碱性蚀刻液 氧化剂 去离子水 氯化铜 蚀刻液 有机胺 添加剂 沉淀 氮气 蚀刻 膜分离技术 操作安全 控制系统 循环再生 对设备 低侧 配制 过滤 还原 检测 环保 | ||
【主权项】：
1.一种碱性蚀刻液，其特征在于，所述碱性蚀刻液包括氯化铜、有机胺、氧化剂、添加剂以及去离子水；每升碱性蚀刻液中氯化铜占10‑150g，有机胺占10‑200g，氧化剂1‑100g，添加剂占1‑100g，其余为去离子水；所述有机胺选自乙胺、乙醇胺、邻苯二胺、乙二胺、三乙烯四胺中的一种或者几种；所述氧化剂选自氧气、氯酸盐、双氧水、高锰酸盐中的一种或几种；所述添加剂选自二硫酸盐、碳酸盐、碳酸氢盐、氨水、硫氰酸盐、硫代硫酸钠中的一种或几种。
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