[发明专利]微型真空计及其工作方法在审
| 申请号： | 201810324826.1 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108387341A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 魏德波;候影;刘瑞文;傅剑宇;吕文龙;王玮冰;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山光微电子有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 张文婷 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型真空计及其工作方法，该微型真空计包括底座、框架、绝缘基底、二极管、电阻、悬臂梁和电学连线，框架固定在底座四周，悬臂梁至少为两个，悬臂梁的一端与绝缘基底固定连接，悬臂梁的另一端固定于框架的上侧面上，至少两个悬臂梁将绝缘基底悬空固定于框架上；二极管和电阻设于绝缘基底上，电学连线将电阻和二极管电性连接并从悬臂梁上引出。本发明通过配置二极管数量、二极管的串并联方式、串联电阻大小、绝缘基底与底座之间的间隙实现对不同真空度的精确检测，具有配置灵活、灵敏度高、量程大的优点。此外，该真空计还具有结构及制作方法简单、与CMOS工艺兼容、加工误差容限大、成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 二极管 绝缘 真空计 基底 电阻 电学 连线 底座 串并联方式 串联电阻 底座四周 电性连接 基底固定 加工误差 悬空固定 灵敏度 上侧面 量程 容限 配置 兼容 检测 灵活 制作 | ||
【主权项】：
1.一种微型真空计，其特征在于：包括底座(1)、框架(2)、绝缘基底(3)、二极管(4)、电阻(5)、悬臂梁(6)和电学连线(7)，所述框架固定在所述底座四周，所述悬臂梁至少为两个，所述悬臂梁的一端与所述绝缘基底固定连接，所述悬臂梁的另一端固定于所述框架的上侧面上，至少两个所述悬臂梁将所述绝缘基底悬空固定于所述框架上；所述二极管和电阻设于所述绝缘基底上，所述电学连线将所述电阻和二极管电性连接并从所述悬臂梁上引出。
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