[发明专利]一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法有效
| 申请号： | 201810326897.5 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108660426B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 黄小俊;张雷;季刚;孙飞;尹长城 | 申请（专利权）人： | 中国科学院生物物理研究所;北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/24;C23C14/14;C23C14/02;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京中强智尚知识产权代理有限公司 11448 | 代理人： | 黄耀威 |
| 地址： | 100101*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，包括以下步骤：将带有微阵列孔的模板通过真空喷镀一层亲水剂；采用喷镀或磁控溅射的方法，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜；通过将沉积有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入水中，进行所述模板与所述镍钛合金薄膜之间的分离；将与所述模板分离后的所述镍钛合金薄膜从水中取出，再进行室温静置干燥后，即可得到镍钛非晶合金微阵列支持膜。本发明通过将带有微阵列孔的模板真空喷镀一层亲水剂，来使模板和在其表面沉积的镍钛合金薄膜能够在水中进行分离，来得到镍钛非晶合金微阵列支持膜，进而打破了制备镍钛非晶合金微阵列支持膜的技术空白。 | ||
| 搜索关键词： | 微阵列 非晶合金 镍钛合金 支持膜 镍钛 薄膜 亲水剂 水中 制备 真空喷镀 沉积 表面沉积 磁控溅射 技术空白 室温静置 放入 喷镀 取出 | ||
【主权项】：
1.一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将带有微阵列孔的模板通过真空喷镀一层亲水剂；采用喷镀或磁控溅射的方法，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜；通过将沉积有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入水中，进行所述模板与所述镍钛合金薄膜之间的分离，将分离后的所述模板安放在水面以下，并使所述镍钛合金薄膜漂浮在水面上，完成所述镍钛合金薄膜和所述模板的分离；将与所述模板分离后的所述镍钛合金薄膜从水中取出，再进行室温静置干燥后，即可得到镍钛非晶合金微阵列支持膜。
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