[发明专利]一种基底边缘保护环单元、光刻设备及保护方法有效
| 申请号： | 201810327823.3 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110376847B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡晨;王鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基底边缘保护环单元、光刻设备及保护方法。基底边缘保护环单元包括保护环和保护环托盘；所述保护环上设有第一固定部件，所述保护环托盘上设有与所述第一固定部件对应的第二固定部件，当所述保护环置于所述保护环托盘上时，所述第一固定部件与所述第二固定部件配合，将所述保护环固定在所述保护环托盘上。本发明实施例提供的基底边缘保护环单元，对保护环进行位置固定，避免保护环在传输过程中发生位置偏移，保证保护环抓取单元能够精准的抓取保护环，进而保证了放环精度；同时，由于无需手工进行位置对准，提高了放环效率和设备产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 边缘 保护环 单元 光刻 设备 保护 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基底边缘保护环单元，其特征在于，包括：保护环；保护环托盘；所述保护环上设有第一固定部件，所述保护环托盘上设有与所述第一固定部件对应的第二固定部件，当所述保护环置于所述保护环托盘上时，所述第一固定部件与所述第二固定部件配合，将所述保护环固定在所述保护环托盘上。
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