[发明专利]一种提高非晶金属薄膜材料抗晶化能力的结构及其制备方法有效
申请号: | 201810327894.3 | 申请日: | 2018-04-12 |
公开(公告)号: | CN108315705B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 黄平;王飞;童超逸;黄丽;陈自强 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/54 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 田洲 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种提高非晶金属薄膜材料抗晶化能力的结构及其制备方法,所述结构包括非晶金属薄膜,非晶金属薄膜的下表面和上表面均覆盖有晶体层,形成三明治层状结构。非晶材料的晶化过程是原子重新排列、原子有序化的过程,该过程属热激活过程。在薄膜材料中,表面原子的扩散系数和跃迁频率比材料内部高数倍,因此在遮盖表面时可以有效地使原本位于表面的原子呈现与内部原子类似的性质,从而阻碍非晶材料和外界环境的能量传递过程,降低非晶材料晶化以及失稳的速度。本发明结构相对于对照组中同成分的单一非晶薄膜,抗晶化能力更强。本发明方法采用传统磁控溅射手段,成本低,可控性强,操作简单,易于实现和推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 金属 薄膜 材料 抗晶化 能力 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种提高非晶金属薄膜材料抗晶化能力的结构,其特征在于,包括非晶金属薄膜,非晶金属薄膜的下表面和上表面均覆盖有晶体层,形成三明治层状结构。
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