[发明专利]一种负性光刻胶显影液在审
| 申请号： | 201810329307.4 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108594606A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 深圳达诚清洗剂有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种负性光刻胶显影液，其由以下组分按照重量百分比组成：KOH3％‑5％；无机盐5％‑10％；表面活性剂10％‑20％；水65％‑82％，其中，无机盐采用硅酸钠、碳酸钠、偏硅酸钠、磷酸三钠中的一种或者多种。本发明配制的负性光刻胶显影液，其显示范围宽，可操作窗口大，且显影效果良好，并且显影精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 负性光刻胶 显影液 无机盐 表面活性剂 重量百分比 磷酸三钠 偏硅酸钠 显影效果 硅酸钠 可操作 碳酸钠 显影 配制 | ||
【主权项】：
1.一种负性光刻胶显影液，其特征在于：其由以下组分按照重量百分比组成：![]()
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