[发明专利]一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统在审
| 申请号： | 201810330036.4 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108662993A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 黄智强;范真节;谢伟民 | 申请（专利权）人： | 黄智强 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 610091 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，包括光源、会聚镜组、针孔、准直镜组、可变光阑、待测样品、聚焦镜组、光电探测器、消光陷阱、数据处理系统。光源发出的光波经过会聚镜组会聚为细光束，再经针孔滤波后，准直镜组将经过针孔的光束变换为准直光束，通过可变光阑控制入射到待测样品表面光斑的大小，入射到待测样品表面的光束经待测样品向半球空间散射，聚焦镜组将散射到半球空间的部分光束能量收集于光电探测器，光电探测器倾斜一定角度放置，消光陷阱用于收集因光电探测器窗口表面产生的镜面反射光束，经数据处理系统获得待测样品的表面粗糙度。本发明具有快速、非接触、不损伤工件表面、可进行在线测量等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 待测样品 光电探测器 针孔 表面粗糙度检测 数据处理系统 半球空间 会聚镜组 聚焦镜组 可变光阑 散射原理 消光陷阱 准直镜组 散射 入射 光源 镜面反射光束 表面粗糙度 表面光斑 窗口表面 工件表面 光束变换 光束能量 在线测量 光波 非接触 细光束 滤波 会聚 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：该检测系统包括光源、会聚镜组、针孔、准直镜组、可变光阑、待测样品、聚焦镜组、光电探测器、消光陷阱、数据处理系统；光源发出的光波经过会聚镜组会聚为细光束，再经针孔滤波后，准直镜组将经过针孔的光束变换为准直光束，通过可变光阑控制入射到待测样品表面光斑的大小，入射到待测样品表面的光束经待测样品向半球空间散射，聚焦镜组将散射到半球空间的部分光束能量收集于光电探测器，光电探测器倾斜一定角度放置，消光陷阱用于收集因光电探测器窗口表面产生的镜面反射光束，经过待测样品表面调制进入光电探测器的光能量包含了待测样品表面的粗糙度信息，经数据处理系统获得待测样品的表面粗糙度。
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