[发明专利]一种用于单晶硅拉制过程的氮气控制配盘及方法在审
| 申请号： | 201810332692.8 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108330538A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 田野;高润飞;郝勇;张全顺;裘孝顺;刘伟;张文霞;武志军 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于单晶硅拉制过程的氮气控制配盘，包括：氮气供给通道，包括质量流量控制器，用于控制通入氮气的流量；氩气供给通道，用于通入氩气；总配通道，与所述氮气供给通道和所述氩气供给通道均连通，根据所述通入氮气和所述通入氩气的流量进行配比，将配比后的气体通出，并且提供一种用于单晶硅拉制过程的氮气控制配盘的方法，本发明的有益效果是可以通过工艺参数任意调节氮气、氩气的流量比例，实现氮气、氩气的平稳切换，通过电磁阀的作用防止意外发生，增加了氮气拉晶的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 氩气 氮气 单晶硅拉制 氮气控制 氮气供给 供给通道 配比 质量流量控制器 任意调节 电磁阀 拉晶 连通 | ||
【主权项】：
1.一种用于单晶硅拉制过程的氮气控制配盘，其特征在于，包括：氮气供给通道，包括质量流量控制器，用于控制通入氮气的流量；氩气供给通道，用于通入氩气；总配通道，与所述氮气供给通道和所述氩气供给通道均连通，根据所述通入氮气和所述通入氩气的流量进行配比，将配比后的气体通出。
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