[发明专利]集光电极和微电极一体的生物神经芯片及其制备方法

摘要

本发明涉及半导体器件的技术领域，更具体地，涉及集光电极和微电极一体的生物神经芯片及其制备方法。该芯片的具体结构包括光电极部分以及微电极部分，光电极部分利用发光二极管发出470nm的光，刺激神经细胞产生神经电流信号，再由光电极附近的微电极部分接收神经信号电位变化，从而探测外加信号对神经细胞的影响，进而研究生物行为。光电极部分包括氮化镓基发光二极管、金属电极、透明导电层、温度传感器、金属线路和PAD电极；微电极部分包括透明薄膜电极或金属电极、金属线路和PAD电极。本发明将光电极和微电极集成一体，具有尺寸小、测试精度高、转换效率高、易植入生物体内等特点，实现了对神经细胞进行光刺激的同时进行神经电位的测量。

主权项

1.集光电极和微电极一体的生物神经芯片，其特征在于，包括光电极部分以及微电极部分，所述的光电极部分包括氮化镓基发光二极管、金属电极、透明导电层、温度传感器、金属线路和PAD电极；微电极部分包括透明薄膜电极或金属电极、金属线路和PAD电极。