[发明专利]一种抽真空除气工艺

摘要

本发明公开了一种抽真空除气工艺，包括对被抽产品进行氦质谱检漏后充入高纯热氮气，并辅以内、外温对产品彻底进行加热，再按热氮气充气、闷气、排气热冲洗工艺抽低真空，最后按间断排气抽空工艺抽高真等工序；通过上述工序的设置并结合上述工艺工序设置特有的工艺参数，使得经过本申请抽真空除气工艺处理后的真空绝热低温泵池、真空绝热低温管以及真空绝热低温阀箱类产品等的夹层内残余气体清除效果极佳，进而使得被抽处理后的产品在使用过程中的漏热量大大降低，提高了产品的使用性能和使用寿命。

主权项

1.一种抽真空除气工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将被抽产品进行氦质谱检漏；步骤2、对检漏合格的被抽产品安装抽空机组、温度监控装置、真空联程表以及内、外架加热装置装；启动内、外加热装置，对被抽产品进行内、外加热；步骤3、第一次充氮：利用抽空机组中的抽真空主管道对被抽产品缓慢充入高纯热氮气，观察真空联程表上的读数，当其显示值大于或等于0时，停止充气；步骤4、第一次闷气：对被抽产品的内、外表面及夹层全面加热至100℃‑180℃，加热时间为15h‑18h；步骤5、第一次预抽真空：在被抽产品内、外表面加热持续的状态下，开启抽空机组中的机械泵和罗茨泵，对抽真空主管道和被抽产品进行排气；步骤6、第二次充氮：关闭机械泵和罗茨泵，并在吹除充气管内残余空气后，将步骤3中同样的高纯热氮气缓慢充入抽空机组的管道系统及被抽产品的夹层中，观察真空联程表的读数，当其上显示的充气压强大于或等于大气压强，即0位略偏上时，停止充气；步骤7、第二次闷气：充气结束后，使被抽产品在充入的热氮气中持续加热升温至100℃‑180℃，闷气时间0.5h‑2h；步骤8、第二次预抽真空，开启机械泵、罗茨泵，对管道系统和被抽产品排气，排气时间为0.5h‑2h；步骤9、按照步骤3进行第三次充氮，按照步骤7进行三次闷气，按照步骤8进行第三次预抽真空；步骤10、重复步骤9的操作，进行第四次充氮、第四次闷气和第四次预抽真空；待排气结束后，准备抽高真空，按照油扩散泵的工作条件，提前开启油扩散泵的电炉加热，备用；步骤11、利用机械泵、罗茨泵对管道系统抽低真空，当测量抽空管道的真空度P＜10Pa时，开启油扩散泵不间断抽高真空；当测量抽空管道的真空度P＜5×10‑1Pa时，开始间断抽高真空；步骤12、循环步骤11的抽空过程，当被抽产品抽真空5‑7天后，测量产品夹层的静态压强回升值，并计算出漏放气速率，连续两次计算值应小于或等于5×10‑6Pa·m3/S，其中静态瞬间极限真空度P1应小于或等于2.2Pa，再静置17h后测量出夹层的真空度P2；步骤13、提前对被抽产品的内、外表面加热，待被抽产品内、外表面热冷却后，封结被抽产品。