[发明专利]压印装置和物品的制造方法有效
| 申请号： | 201810338639.9 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN108732862B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 吉田贤治 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;李艳丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及压印装置和物品的制造方法。本发明提供一种压印装置，其进行压印处理，所述压印处理通过使用模具在基板上的处理目标区域上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：数字反射镜设备，其包括二维排列的反射镜元件并且被构造为用由所述反射镜元件反射的光照射所述基板；测量单元，其被构造为针对通过对排列有反射镜元件以包括多个反射镜元件的区域进行分割而获得的多个区段中的各个区段，测量从各个区段发射的光的光量；以及控制单元，其被构造为基于测量单元的测量结果来控制各个区段中包括的反射镜元件。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印装置，其进行压印处理，所述压印处理通过使用模具而在基板上的处理目标区域上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：数字反射镜设备，其包括二维排列的反射镜元件并且被构造为用由所述反射镜元件反射的光来照射所述基板；测量单元，其被构造为针对通过对以包括多个反射镜元件的方式排列有反射镜元件的区域进行分割而获得的多个区段中的各个区段，测量从各个区段发射的光的光量；以及控制单元，其被构造为基于测量单元的测量结果来控制各个区段中包括的反射镜元件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810338639.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种集成电路研发用掩膜板
- 下一篇：一种柔性纳米压印模板及其制备方法
