[发明专利]压电器件、液体喷出头、液体喷出装置

摘要

本发明在抑制裂纹的产生的同时提高位移特性。本发明的压电器件具备：压力室；压电元件；振动板，其被配置在压力室与压电元件之间，振动板具有单晶硅基材的晶面{110}，振动板具有在俯视观察时与压力室重叠的振动区域，压电元件在俯视观察时与振动区域重叠，当在周向上将振动区域分为从晶面内的晶体取向＜‑111＞至＜1‑12＞的第一区域、从＜1‑12＞至＜1‑1‑1＞的第二区域、从＜1‑1‑1＞至＜‑11‑2＞的第三区域、从＜‑11‑2＞至＜‑111＞的第四区域时，对于振动区域的形状，如果和将＜‑111＞的方向的直径与＜1‑12＞的方向的直径设为相同的假想的正圆形进行比较，则在第二区域和第四区域中与假想的正圆形相比位于内侧，在第一区域和第三区域中与假想的正圆形相比至少一部分位于外侧。

主权项

1.一种压电器件，具备：压力室；压电元件；振动板，其被配置在所述压力室与所述压电元件之间，所述振动板具有单晶硅基材的晶面{110}，所述振动板具有在俯视观察时与所述压力室重叠的振动区域，所述压电元件在俯视观察时与所述振动区域重叠，当在周向上将所述振动区域分为从所述晶面内的晶体取向＜‑111＞至＜1‑12＞的第一区域、从所述＜1‑12＞至＜1‑1‑1＞的第二区域、从所述＜1‑1‑1＞至＜‑11‑2＞的第三区域、从所述＜‑11‑2＞至所述＜‑111＞的第四区域时，如果对所述振动区域的形状和将所述＜‑111＞的方向上的直径与所述＜1‑12＞的方向上的直径设为共同并使用的假想的正圆形进行比较，则在所述第二区域和所述第四区域中所述振动区域的形状与所述假想的正圆形相比位于内侧，在所述第一区域和所述第三区域中所述振动区域的形状与所述假想的正圆形相比至少一部分位于外侧。