[发明专利]高度位置检测单元的评价用治具和评价方法

摘要

提供高度位置检测单元的评价用治具和评价方法。评价用治具(1)是激光加工装置(10)的高度位置检测单元的评价用治具，该激光加工装置(10)具有：对晶片进行保持的卡盘工作台(20)；照射加工用激光光线的激光光线照射单元(30)；使加工用激光光线的聚光点位置移位的聚光点位置调整单元；对晶片照射检测用激光光线而对背面的Z轴方向的位置进行检测的高度位置检测单元；以及对聚光点位置调整单元进行控制的控制单元(100)。评价用治具(1)具有：被照射检测用激光光线的被照射面(2‑1)；使被照射面(2‑1)在Z轴方向上移动的致动器；对致动器进行支承并载置于保持面(21)的基台部(4)；以及对致动器的移动进行控制的控制部(120)。

主权项

1.一种高度位置检测单元的评价用治具，其是激光加工装置的高度位置检测单元的评价用治具，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；激光光线照射单元，其将对于被加工物具有透过性的波长的加工用激光光线照射至该卡盘工作台所保持的被加工物，该激光光线照射单元具有激光振荡器和会聚加工用激光光线的聚光器；聚光点位置调整单元，其使该加工用激光光线的聚光点位置移位；所述高度位置检测单元，其将检测用激光光线通过该聚光器而照射至该卡盘工作台所保持的被加工物，对该被加工物的上表面高度位置进行检测；以及控制单元，其根据来自该高度位置检测单元的检测信号对该聚光点位置调整单元进行控制，其中，该高度位置检测单元的评价用治具具有：被照射面，其被照射该检测用激光光线；致动器，其使该被照射面在与该被照射面垂直的方向上移动；基台部，其对该致动器进行支承并载置于该保持面上；以及控制部，其对该致动器的移动进行控制。