[发明专利]一种柔性器件的制备方法在审
| 申请号： | 201810343242.9 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108417710A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘钢;卢颖;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性器件的制备方法。该方法首先采用刚性衬底，在刚性衬底设置牺牲层，在牺牲层上制备器件，然后利用溶剂溶解牺牲层，使器件与刚性衬底分离，最后将器件转移至柔性衬底上进行层压结合，得到柔性器件。与现有技术相比，本发明方法简单易行，可降低柔性衬底厚度，保持柔性衬底形貌，以及降低衬底对器件形变的限制，在柔性电子器件技术领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 柔性器件 牺牲层 制备 柔性电子器件 形貌 衬底分离 器件转移 溶剂溶解 制备器件 形变 层压 应用 | ||
【主权项】：
1.一种柔性器件的制备方法，其特征是：包括如下步骤：(1)在刚性衬底表面设置可溶解于溶剂的牺牲层，在牺牲层表面制备器件；然后，利用溶剂溶解牺牲层，使器件与刚性衬底分离；(2)将器件转移至柔性衬底表面进行层压结合，得到柔性器件。
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