[发明专利]一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法有效
| 申请号： | 201810350863.X | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108624898B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李朝升;方涛;黄辉庭;祝梅;邹志刚 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C25B1/04 | 分类号： | C25B1/04;C25B11/06 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法，1)按照金属碳酸盐与金属卤素盐的摩尔比例，分别研磨，金属碳酸盐与金属卤素盐的金属指Ca、Sr或Ba、La或Pr；得到Ca熔盐、Sr熔盐以及Ba熔盐。2)将步骤1)的熔盐取0.1g～0.5g置于瓷舟底部，将Ta、Ti或Nb金属薄膜置于瓷舟顶部；3)将步骤(2)放置好前驱体的瓷舟置于氨气气氛中800℃～900℃煅烧1小时或以上；在高温氨气气氛下让挥发的无机蒸汽与金属薄膜反应，原位在衬底上制备金属氧氮化物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 无机 蒸汽 反应 法制 金属 氮化物 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法，其特征在于，包括：(1)按照金属碳酸盐(10％‑90％)与金属卤素盐(90％‑10％)的摩尔比例，分别研磨，包括CaCO3/CaCl2、SrCO3/SrCl2和BaCO3/BaCl2，金属碳酸盐与金属卤素盐的金属指Ca、Sr或Ba、La或Pr；得到Ca熔盐、Sr熔盐以及Ba熔盐。(2)将步骤(1)的熔盐取0.1g～0.5g置于瓷舟底部，将Ta、Ti或Nb金属薄膜置于瓷舟顶部；(3)将步骤(2)放置好前驱体的瓷舟置于氨气气氛中800℃～900℃煅烧1小时或以上；(4)将步骤(3)中得到的金属氧氮化物薄膜用清水清洗，干燥。
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