[发明专利]一种降低多晶硅铸锭位错的高效籽晶层在审
申请号: | 201810355666.7 | 申请日: | 2018-04-19 |
公开(公告)号: | CN108486652A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 张福军;杨艳红;孔令奇 | 申请(专利权)人: | 常熟华融太阳能新型材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明为一种降低多晶硅铸锭位错的高效籽晶层,包含以下两层结构,底层为SiC层,所述SiC颗粒大小为20‑200目,表层为Si颗粒层,所述Si颗粒大小为20‑80目,所述SiC层颗粒均匀,杂质总量<10ppm,通过喷涂,涂覆等方式粘附在坩埚内底,所述的Si颗粒层颗粒均匀,杂质总量<10ppm,通过喷涂,涂覆等方式粘附在SiC层上,本发明的高效籽晶层,可有效降低由于坩埚导热性差而引起的铸锭位错。 | ||
搜索关键词: | 籽晶层 位错 多晶硅铸锭 杂质总量 喷涂 涂覆 粘附 坩埚 导热性 颗粒层颗粒 两层结构 颗粒层 铸锭 | ||
【主权项】:
1.一种降低多晶硅铸锭位错的高效籽晶层,其特征在于:包含以下两层结构,底层为SiC层(1),所述SiC颗粒大小为20‑200目,表层为Si颗粒层(2),所述Si颗粒大小为20‑80目。
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