[发明专利]硅片转移用组合机械手

摘要

本发明涉及硅片转移技术领域，尤其是一种硅片转移用组合机械手，包括第一机械手、第二机械手及连接座；第一机械手包括第一悬臂及固定在第一悬臂上的第一承载板，第一承载板的外侧面固定有第一吸盘组；第二机械手包括第二悬臂及固定在第二悬臂上的第二承载板，第二承载板的外侧面固定有第二吸盘组；当第一电机带动第二悬臂转动至第二吸盘组与第一吸盘组齐平时，第一吸盘组中吸盘所吸附的硅片与第二吸盘组中吸盘所吸附的硅片构成一个沿第一承载板长度方向等间隔分布的硅片阵列，本发明的硅片转移用组合机械手通过第一机械手和第二机械手的相互配合极大提升了硅片在花篮与石英舟之间的转移效率，相对现有模式实现产能提升一倍。

主权项

1.一种硅片转移用组合机械手，其特征在于：包括第一机械手、第二机械手及连接座(3)；所述第一机械手包括第一悬臂(1)及固定在第一悬臂(1)上的第一承载板(1‑1)，所述第一承载板(1‑1)的外侧面固定有第一吸盘组(1‑2)，所述第一悬臂(1)设置在连接座(3)上；所述第二机械手包括第二悬臂(2)及固定在第二悬臂(2)上的第二承载板(2‑1)，所述第二承载板(2‑1)的外侧面固定有第二吸盘组(2‑2)，所述第二悬臂(2)转动设置在第一悬臂(1)上，所述第一悬臂(1)上固定有用于驱动第二悬臂(2)转动的第一电机(1‑4)；所述第一吸盘组(1‑2)及第二吸盘组(2‑2)均包括沿第一承载板(1‑1)的长度方向等间隔分布的若干用于吸附硅片(5)的吸盘(4)，所述第一吸盘组(1‑2)及第二吸盘组(2‑2)中相邻两个吸盘(4)的间距均为D，所述第一吸盘组(1‑2)中的硅片(5)与第二吸盘组(2‑2)中的硅片(5)相互错开排列，所错开的间距为d，其中，D＝2d；当第一电机(1‑4)带动第二悬臂(2)转动至第二吸盘组(2‑2)与第一吸盘组(1‑2)齐平时，第一吸盘组(1‑2)中吸盘(4)所吸附的硅片(5)与第二吸盘组(2‑2)中吸盘(4)所吸附的硅片(5)构成一个沿第一承载板(1‑1)长度方向等间隔分布的硅片阵列(6)，硅片阵列(6)中相邻两个硅片(5)之间的间距均为d。