[发明专利]一种疏水DLC涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201810358030.8 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108677142B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳晓平;张丰收;张旭;吴先映 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32;B01D35/06 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 李冬梅;苗源 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种疏水DLC涂层的制备方法，包括以下步骤：1S：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用凯赛奥弧磁过滤沉积方法在所述基体上进行疏水DLC涂层的沉积。该方法基于凯赛奥弧磁过滤沉积方法在沉积过程中可自形成碳纳米团簇，同时形成纳米凹凸结构，大大降低了制备成本，纳米颗粒本身的结合力也大大提高。通过该方法生产的疏水DLC涂层，具有疏水性能好、不湿润的特点，生产出的高频手术刀耐磨、不粘肉、血液分散不团聚，改善了血液团聚影响手术时医生视线的关键问题，从而改善医务人员的工作条件。 | ||
| 搜索关键词： | 疏水 沉积 制备 磁过滤 团聚 阴极 血液 高频手术刀 气体离子源 凹凸结构 关键问题 基体表面 纳米颗粒 疏水性能 结合力 碳纳米 不粘 耐磨 碳靶 团簇 清洗 湿润 视线 生产 医生 | ||
【主权项】：
1.一种疏水DLC涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1S：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积方法在所述基体上进行疏水DLC涂层的沉积；使所述碳靶产生的碳离子依次穿过第一强脉冲线包、抑制线包和磁过滤弯管；设置所述第一强脉冲线包的频率为0.1～200Hz，电流为0.1～50A；设置所述抑制线包的频率为0.1～200Hz，电流为0.1～10A；所述磁过滤弯管上依次设置有第二强脉冲线包、中间线包、第三强脉冲线包、高功率脉冲网格和高脉冲聚焦线包；设置所述第二强脉冲线包的频率为20～80Hz，电流为0.1～20A；所述中间线包为直流线包，设置其电流设置为0.1～5A；设置所述第三强脉冲线包的频率为20～80Hz，电流为0.1～20A；设置所述高脉冲聚焦线包的频率为30～300Hz，电流为30～200A；设置所述高功率脉冲网格的电压为‑10～‑100V，频率为1～20Hz。
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