[发明专利]一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备及其使用方法有效
| 申请号： | 201810372014.4 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108568721B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 曾探;石煜;王志强 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及ITO平面靶材生产设备领域，具体来说是一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备及其使用方法，所述定位设备包括用于与磨床相连接的放置底座，所述放置底座包括用于放置平面靶材的放置平台，所述放置底座还包括侧面与放置平台相连接的第一限位平台；所述放置平台上设有第一倾斜面；第一倾斜面底端靠近第一限位平台设置；所述定位设备还包括与放置平台搭配使用用于固定平面靶材的固定组件，所述固定组件包括固定平台，所述固定平台上设有与第一倾斜面相对应的第二倾斜面。本发明提供了一种用于平面靶材磨倒角的工装，在放置平台上设置第一倾斜面，从而可以实现平面靶材侧面倒角的铣磨出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ito 平面 靶材铣 倒角 定位 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备，其特征在于，所述定位设备包括用于与磨床相连接的放置底座，所述放置底座包括用于放置平面靶材的放置平台，所述放置底座还包括侧面与放置平台相连接的第一限位平台；所述放置平台上设有第一倾斜面；第一倾斜面底端靠近第一限位平台设置；所述定位设备还包括与放置平台搭配使用用于固定平面靶材的固定组件，所述固定组件包括固定平台，所述固定平台上设有与第一倾斜面相对应的第二倾斜面；所述第一倾斜面和第二倾斜面之间留有用于放置平面靶材的预留间隙。
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