[发明专利]一种掩膜板及其制作方法

摘要

本申请提供一种掩膜板及其制作方法，掩膜板包括至少一个开口以及围绕设置在开口周缘的遮挡区，掩膜板包括贯穿相对设置的第一表面和第二表面的开口，遮挡区的第一表面上设置有第一凹槽，第一凹槽与开口相连。即遮挡区朝向开口的侧边上设置有开放性的第一凹槽，在掩膜板使用过程中，第一凹槽容纳衬底上的颗粒物，使得蒸镀时掩膜板与衬底之间的贴合紧密，避免因颗粒物的存在造成的成膜不均，引起成膜失败问题。而且，颗粒物在重力作用下，能够脱离第一凹槽，避免第一凹槽里容纳较多颗粒物，造成掩膜板与衬底之间出现空隙。同时，第一凹槽的存在还减轻了掩膜板遮挡区实体板材的部分重量，同样能够改善蒸镀过程中形成的材料蒸镀边缘模糊的问题。

主权项

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：至少一个开口；围绕设置在所述开口周缘的遮挡区；所述掩膜板包括第一表面和与之相对的第二表面，所述开口贯穿所述第一表面和所述第二表面，所述遮挡区的所述第一表面上设置有第一凹槽，所述第一凹槽与所述开口相连。