[发明专利]少子寿命检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201810373693.7 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108680850B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 顾维杰 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/265 | 分类号： | G01R31/265 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张乐乐 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，公开的一种少子寿命检测方法包括：获取体少子寿命数值；获取体分布特征参数；根据所述体少子寿命数值和所述体分布特征参数得到少子寿命密度和有效少子寿命。本申请在获取体少子寿命数值的同时，又获取了半导体层体分布特征参数，将体少子寿命数值和体分布特征参数结合得出少子寿命密度和有效少子寿命，该检测方法准确度高，有利于真实反映少子寿命以及对半导体层材料的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 少子 寿命 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种少子寿命的检测方法，其特征在于，包括：获取体少子寿命数值；获取体分布特征参数；根据所述体少子寿命数值和所述体分布特征参数计算得出少子寿命密度和有效少子寿命。
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