[发明专利]清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机

摘要

本发明公开了清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机，属于光刻版加工领域。将辅助载具设置为包括载板及至少2个压块，载板上设置有安装槽，光刻版平行放置在安装槽内。在清洗机对光刻版进行清洗时，固定放置在清洗机上的辅助载具随载台一同旋转。至少2个的压块的转动轴均位于压块的中部，并将其分为第一部分与第二部分，第一部分与第二部分分别延伸至安装槽的上方与下方，其重心设置在第二部分上，在辅助载具的旋转过程中，便于压块将光刻版压紧在载板上对光刻版进行固定，使得光刻版不会脱离载台而受损。

主权项

1.一种清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述辅助载具用于可拆卸固定在清洗机的载台上；所述辅助载具包括载板及至少两个压块，所述载板上设置有安装槽，所述安装槽内开设有用于供清洗液流过的第一通孔，所述至少两个压块沿所述安装槽的边沿间隔均匀布置，每个所述压块可转动地设置在所述载板上，所述压块的转动轴位于所述压块的中部，所述压块被所述转动轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分延伸到所述载板的上方，所述第二部分延伸到所述载板的下方，所述压块的重心位于所述第二部分上。