[发明专利]基板周转载盘有效
| 申请号： | 201810381661.1 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108572471B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张夏;黄建龙;郑绍谷 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板周转载盘。所述基板周转载盘包括至少一个承载盘，每一个承载盘均包括：底面以及与所述底面相连并包围所述底面的侧壁；所述底面包括：承载凸台以及沿所述承载凸台四周延伸的联通槽，所述承载凸台中形成有第一凹槽，所述侧壁中形成第二凹槽，所述联通槽、第一凹槽及第二凹槽的凹陷方向垂直于所述底面，所述第一凹槽和第二凹槽均与所述联通槽联通，通过设置所述承载凸台上的第一凹槽与联通槽联通，能够防止基板被载盘真空吸附，降低破片率，提高取片速度，提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 周转 | ||
【主权项】：
1.一种基板周转载盘，其特征在于，包括：至少一个承载盘(1)，每一个承载盘(1)均包括：底面(10)以及与所述底面(10)相连并包围所述底面(10)的侧壁(20)；所述底面(10)包括：承载凸台(11)以及沿所述承载凸台(11)四周延伸的联通槽(12)，所述承载凸台(11)中形成有第一凹槽(13)，所述侧壁(20)中形成第二凹槽(14)，所述联通槽(12)、第一凹槽(13)及第二凹槽(14)的凹陷方向垂直于所述底面(10)，所述第一凹槽(13)和第二凹槽(14)均与所述联通槽(12)联通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810381661.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
