[发明专利]辐射源

摘要

本发明提供了一种辐射源，包括：贮存器，配置成保持一体积的燃料；喷嘴，与贮存器流体连接，配置成沿着朝向等离子体形成位置的轨迹引导燃料的流；激光器，配置成将激光辐射引导到在等离子体形成位置处的所述流上，以在使用中产生用于产生辐射的等离子体；和污染物过滤器组件，定位在辐射源的燃料流路中且在喷嘴出口的上游，污染物过滤器组件的过滤介质被通过由至少部分地围绕过滤介质的一个或更多的物体提供的夹持力保持在污染物过滤器组件内的适合位置上。

主权项

1.一种辐射源，包括：流体流生成器，所述流体流生成器包括贮存器，配置成保持一体积的燃料；喷嘴，与贮存器流体连接，配置成沿着朝向等离子体形成位置的轨迹引导燃料的流；激光辐射组件，配置成将激光辐射引导到在等离子体形成位置处的所述燃料的流上，以产生用于产生辐射的等离子体；和污染物过滤器组件，定位在辐射源的燃料流路中且在喷嘴出口的上游，所述污染物过滤器组件包括过滤介质和过滤介质外壳，其中过滤介质被所述污染物过滤器组件的进口或出口或过滤介质外壳通过所述过滤介质和所述进口或出口或过滤介质外壳之间的收缩配合提供的夹持力保持在污染物过滤器组件内的适合位置上，所述污染物过滤器组件的进口或出口或过滤介质外壳至少部分地围绕过滤介质并与过滤介质接触，所述燃料是熔融的金属，过滤介质具有第一部分和第二部分，所述第一部分被夹持在进口或出口或过滤介质外壳处，所述第二部分的外径小于污染物过滤器组件的外壳的内径以在过滤介质和污染物过滤器组件之间产生间隙，所述过滤介质包括陶瓷材料，所述进口、所述出口和所述过滤介质外壳中施加夹持力的相应的一者具有与过滤介质接触的内表面；且所述内表面包括陶瓷。