[发明专利]电子束光刻胶组合物及制备方法在审
| 申请号： | 201810383600.9 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108628101A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 秦龙;许箭;袁华;曾霞;刘晓华;汪武平;耿文练;花雷 | 申请（专利权）人： | 儒芯微电子材料（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束光刻胶组合物，其主要成分包括卤代丙烯酸酯共聚物和光致产酸剂，所述卤代丙烯酸酯共聚物为卤代丙烯酸酯单体单元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯类单体单元的共聚物。通过引入侧链取代的卤族原子及刚性的芳香环，并选取了合适的单体单元的组合，本发明组合物中的共聚物具有较高的灵敏度和抗蚀性能。此外，本发明组合物中还具有光致产酸剂，能够加速组合物中的共聚物的裂解，有效提高了曝光效率，进一步提高了光刻胶的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 共聚物 卤代丙烯酸酯 单体单元 电子束光刻胶 光致产酸剂 灵敏度 丙烯酸酯 芳香族烯 抗蚀性能 卤族原子 曝光效率 芳香环 芳香族 光刻胶 侧链 裂解 制备 引入 | ||
【主权项】：
1.一种电子束光刻胶组合物，其特征在于，所述电子束光刻胶组合物的主要成分包括卤代丙烯酸酯共聚物和光致产酸剂，所述卤代丙烯酸酯共聚物为卤代丙烯酸酯单体单元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯类单体单元的共聚物。
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