[发明专利]一种孔位检具在审
| 申请号： | 201810384003.8 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108507438A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 陈剑 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种孔位检具，属于检测技术领域。该检具包括：检测环，检测环上间隔设置有与标准ILC1060靶材的第一螺纹孔相对应的多个第一检测孔，以及与标准ILC1060靶材的第二螺纹孔相对应的多个第二检测孔；以及，多个与第一检测孔相对应的第一固定件，以及多个与第二检测孔相对应的第二固定件，在使用孔位检具对待检测ILC1060靶材进行检测时，在每个第一检测孔与对应的第一螺纹孔均能通过第一固定件进行固定，以及每个第二检测孔与对应的第二螺纹孔均能通过第二固定件进行固定时，表明待检测ILC1060靶材合格。通过该检具来对待检测ILC1060靶材进行检测能极大地提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 固定件 螺纹孔 检具 检测 第二检测 检测孔 检测环 种孔 检测技术领域 间隔设置 孔位检具 | ||
【主权项】：
1.一种孔位检具，其特征在于，包括：检测环，所述检测环上间隔设置有与标准ILC1060靶材的第一螺纹孔相对应的多个第一检测孔，以及还间隔设置有与所述标准ILC1060靶材的第二螺纹孔相对应的多个第二检测孔，所述检测环的内径大于所述标准ILC1060靶材的铝柱体的直径；以及，多个与所述第一检测孔相对应的第一固定件，以及多个与所述第二检测孔相对应的第二固定件，所述第一固定件的数量大于等于所述第一检测孔的数量，所述第二固定件的数量大于等于所述第二检测孔的数量，在使用所述孔位检具对待检测ILC1060靶材进行检测时，在每个第一检测孔与对应的第一螺纹孔均能通过所述第一固定件进行固定，以及每个第二检测孔与对应的第二螺纹孔均能通过所述第二固定件进行固定时，表明所述待检测ILC1060靶材合格。
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