[发明专利]一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料，其外部还设置有加热装置；无机蒸发系统，其至少包含：坩埚，及，坩埚挡板；离子源；及，工件盘。采用本发明的镀膜系统可进行有机/无机薄膜的交替制备，不仅有效解决了单独镀制无机薄膜存在缺陷、开裂等问题和单独镀制有机薄膜存在耐候性差、光学设计难度大等问题，而且可实现具有柔性或挠性的多功能复合薄膜制备，拓展了传统光学薄膜的应用领域，为空间、地面、海洋等领域器件的制作、封装及防护等提供一种解决途径。

主权项

1.一种镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；设置于真空室内的用于蒸镀有机薄膜的有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料；该密闭腔体的外部还设置有加热装置，用于对腔体进行加热；设置于真空室内的用于蒸镀无机薄膜的无机蒸发系统，其至少包含：用于放置需要蒸镀的无机蒸发原料的坩埚，及，用于隔断坩埚内原料蒸镀的坩埚挡板；设置于真空室内的离子源；设置于真空室内的用于固定待镀膜衬底的工件盘。